X熒光光譜儀利用X熒光射線的反射強度，判定樣品中物質組成，但同時，X熒光光譜儀也可以對樣品表面的鍍層厚度進行檢測分析。

       當樣品很薄時，比如鍍層樣品，樣品中被激發的X射線熒光可能會穿透鍍層，鍍層的厚薄會影響X射線熒光信號的強弱，鍍層越厚，鍍層中被激發的X射線熒光信號就越強。

       當鍍層的厚度或鍍層的成分發生變化時，X射線熒光的信號會隨之變化。通過建立鍍層厚度和成分與X射線信號強度的關聯關系，就可以分析鍍層的厚度和成分。

       鍍層是通過電鍍在機械制品上沉積出附著良好的，但性能和基體材料不同的金屬覆層。電鍍層一般都比較薄，從幾十納米到幾十微米不等。通過電鍍，可以再機械制品上獲得裝飾保護性和各種功能性的表面層，還可以修復磨損和加工失誤的工件，鍍層厚度測量已成為加工工業、表面工程質量檢測的重要一環，是產品達到優等質量標準的必備手段。金屬鍍層通常按鍍層的用途可把鍍層分為三大類，即防護性鍍層，防護一裝飾性鍍層和功能性鍍層。

X熒光光譜儀的鍍層檢測

       X射線熒光光譜分析可以非破壞性同時完成組分和厚度測試，厚度的測量范圍視材料和元素而定，通常在1nm-50um之間。X射線熒光光譜法分析鍍層與其常規定量分析法相比較，被測元素的特征X射線熒光強度不僅與鍍層中待測元素和基材的組成有關，而且與厚度直接相關。