ICP光譜分析儀可測定樣品中的多種元素，可進行定性分析、半定量分析和定量分析，同時，它的定性分析通常也準確可靠。ICP光譜分析儀與經典光譜儀相比，具有以下有點：

       1. 因為ICP光源具有良好的原子化、激發和電離能力，所以它具有很好的檢出限。對于多數元素，其檢出限一般為0.1~ 100ng/ml。

       2.因為ICP光源具有良好的穩定性，所以它具有很好的精密度，當分析物含量不是很低即明顯高于檢出限時，其RSD一般可在1%以下，好時可在0.5%以下。

       3.因為ICP發射光譜法受樣品基體的影響很小，所以參比樣品無須進行嚴格的基體匹配，同時在一般情況下亦可不用內標，也不必采用添加劑，因此它具有良好的準確度。這是ICP光譜法主要的優點之一。

       4.ICP發射光譜法的分析校正曲線具有很寬的線性范圍，在一般場合為5個數量級，好時可達6個數量級。

       5.ICP發射光譜法具有同時或順序多元素測定能力，特別是固體成像檢測器的開發和使用及全譜直讀光譜儀的商品化更增強了它的多元素同時分析的能力。

       6.由于ICP發射光譜法在一般情況下無須進行基體匹配且分析校正曲線具有很寬的線性范圍，所以它操作簡便易于掌握，特別是對于液體樣品的分析。

       當然我們也不可以忽視ICP光譜分析儀的局限性：

       1.對于固體樣品來說，需要將其預先轉化為溶液狀態，這一過程往往對其檢出限產生影響。

       2.ICP光譜分析儀目前只能作為檢測樣品中各元素的總量，如果不與其他技術連用，就不能進行價態的分析。