X熒光光譜儀可以對樣品做定性分析和半定量分析檢測，元素周期表上大部分元素均可以檢測出，但是如果要做定量分析，需要一定的方法。

       X射線熒光光譜的定量分析往往需要用一組與未知樣相同類型的標樣以建立校正曲線，這使許多人望而怯步，因為這樣的標樣有時很難獲得。不少送樣者則是希望得到各種新材料及使用過程中發生變化的材料的快速成分剖析，或工業廢棄物中有害元素的快速測定，他們希望不破壞樣品的原始狀態而得到近似定量分析的結果。對于完全未知試樣，在定量之前也需要其半定量分析的數據，在用X射線熒光光譜進行復雜未知物的物相分析時往往希望知道未知物的成分及大致合量等等，均對X射線熒光光譜的半定量分析提出了強有力的需求。

元素準確分析

       制定定量分析方法基本步驟為：

       （1）根據樣品和標樣的物理形態和對分析精確與準確度的要求，決定采用何種制樣方法。制樣方法一經確認，應了解所確認的制樣方法的制樣誤差，制樣誤差應小于分析方法對精度的要求；

       （2）用標準樣品選擇分析條件，如X射線管管壓、管流、原級譜濾光片、晶體、脈沖高度分析器和測量時間等等；

       （3）制定工作曲線；

       （4）用標準樣品驗證分析方法可靠性及其分析數據的不確定度，以確認所制定分析方法的適用范圍。

       定量分析方法從樣品制備角度出發，可分為粉末壓片法、熔融法、固體試樣法和薄試樣法。若按基體校正方法進行劃分，則可分為實驗校正法、影響系數法和基本參數法，這些方法又可相互滲透。